TR Scan - 3D WLI

​비접촉 형상 조도 측정기

​프로브 헤드 : WLI [White-light Interferometry = 백색 간섭계]

3D  WLI 특징

  • 나노미터의 분해능

  • 비접촉 형상 및 조도 측정기

  • 높은 Z 방향 측정 범위

  • 단순하고 우수한 측정 방식

  • ​기존 측정과 비교 가능

  • 완전 자동화

  • 견고한 X.Y 테이블

  • ​안정된 주철 기반의 본체

  • 최대 20 kg 까지 측정 가능 

  • 쉽고 간단하 3D 비접촉 형상 조도 측정기

  • 매우 빠른 측정 속도

  • ​모든 종류의 재질 표면에 형상 조도 측정 가능

WLI 모델 종류

TR Scan - 3D WLI (Full) - 3 모델

   테이블 : X.Y 축 테이블 / 대물렌즈 : 3개

TR Scan - 3D WLI (Full) - 1 모델

   테이블 : X.Y 축 테이블 / 대물렌즈 : 1개

TR Scan - 3D WLI (Band) - 3 모델

   테이블 : X 축 테이블 / 대물렌즈 : 3개

TR Scan - 3D WLI (Band) - 1 모델

   테이블 : X 축 테이블 / 대물렌즈 : 1개

공급 품목

TR Scan - 3D WLI (Full)-3  및  3D WLI (Full)-1 모델  공급 품목

  • TR Scan 본체 및 3축 CNC 제어 가능 [ Z축 프로브 헤드 이송 / X.Y 축 테이블 이송]  

  • WLI 헤드 및 대물렌즈 (10x / 20x / 50x  3개 공급)  <- WLI Full-3 

      WLI 헤드 및 대물렌즈 (10x / 20x / 50x  1개 선택)  <- WLI Full-1           

  • TFT 19" 모니터 2개 

  • 워크 스테이션 Dell PC 및 Windows 10 / 64bits [최신형 PC공급] 

  • Trimos Measurement 및 Trimos Analysis SST  소프트웨어 포함 

TR Scan - 3D WLI (Band)-3  및  3D WLI (Band)-1 모델  공급 품목

  • TR Scan 본체 및 3축 CNC 제어 가능 [ Z축 프로브 헤드 이송 / X 축 테이블 이송]  

  • WLI 헤드 및 대물렌즈 (10x / 20x / 50x  3개 공급)  <- WLI Band-3 

      WLI 헤드 및 대물렌즈 (10x / 20x / 50x  1개 선택)  <- WLI Band-1           

  • TFT 19" 모니터 2개 

  • 워크 스테이션 Dell PC 및 Windows 10 / 64bits [최신형 PC공급] 

  • Trimos Measurement 및 Trimos Analysis SST  소프트웨어 포함 

기술 사양

WLI (White-light Interferometry = 백색 간섭계) 는 낮은 나노미터 범위에서 깊은 분해능을 가진 3D 형상 표현을 위한 검증된 광학 측정 기법 중 하나 입니다. 

측정 포인트는 병렬로 수집 및 처리되면 넓은 면적에 대한 많은 측정 포인트를 매우 짧은 시간 내에 획득 합니다.

대표적인 적용 분야로는 웨이퍼 구조물, 거울면, 유리, 금속 등에서 미세한 높이 및 마이크로 렌즈와 같은 비구면 표면을 정확한 거칠기 값을 구할 수 있습니다.

TRIMOS는 WLI의 측정 원리를 활용한 혁신적인 측정 솔루션을 제공합니다. 검증된 TRIMOS Nanoware 소프트웨어를 사용하여 전체 측정 프로세를 제어하고 분석합니다.

효율적이로 강력하고 정확한 분석 알고리즘은 이 분야에서 광범위한 연구와 경험의 결과물 입니다.

가장 정밀한 X,Y.Z 축 분해능으로 모든 유형의 복잡한 샘플을 측정을 할 수 있다. 

수직 방향 스캐닝 원리 (Piezo : 피에저)

  • 피에조는 대물렌즈가 Z축으로이동하여 카메라는 높이별로 이미지를 잡습니다.

  • 이미지 스택에는 표면에서 프로파일 데이터를 계산하는 정보가 포함되어 있습니다.

  • 각 독립 픽셀은 라이트 변형과 같은 최대 부비동이 목표로부터 정의된 Z거리를 나타내는 정도로 명명된 코렐로그램을 표시합니다.

어플리케이션

표면 스크래치 측정

투명한 재질 측정

​절삭 공구 측정

​절삭 공구 측정

TRIMOS TR Scan 비접촉 형상 조도측정기 문의

​트리모스 TR Scan 제품 문의 / 장비 시연 / 장비 수리 / 견적 요청 시  간단하게 요청 내용을 적어서

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